最近上微SHM800套刻测量设备出成品了


散仙谷 http://www.webjb.org/webjb/sanxian/


送交者: 吴戈 于 2024-02-12 20:15:49

回答: ZT: 美国卡脖子卡了个寂寞 由 于 2024-02-12 11:20:02

也就是全国产成品7nm的硬件已经具备，大概2000i的水平？据说在7nm DUV的良率上去后，成本低于EUV，极限制程的5nm还有待验证。
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SHM800套刻测量设备基于散射光信号测量套刻误差。SHM800系列产品主要用于先进工艺（55nm~7nm）工艺段，可以实现快速、高精度的套刻测量，配合工艺控制系统和光刻机提升晶圆制造工程中套刻性能，改善工艺控制能力。
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