最近上微SHM800套刻测量设备出成品了



散仙谷 http://www.webjb.org/webjb/sanxian/



送交者: 吴戈 于 2024-02-12 20:15:49

回答: ZT: 美国卡脖子卡了个寂寞 由 于 2024-02-12 11:20:02

也就是全国产成品7nm的硬件已经具备,大概2000i的水平?据说在7nm DUV的良率上去后,成本低于EUV,极限制程的5nm还有待验证。
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SHM800套刻测量设备基于散射光信号测量套刻误差。SHM800系列产品主要用于先进工艺(55nm~7nm)工艺段,可以实现快速、高精度的套刻测量,配合工艺控制系统和光刻机提升晶圆制造工程中套刻性能,改善工艺控制能力。

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