一般用金属间距的一半作为最小分辨率



散仙谷 http://www.webjb.org/webjb/sanxian/



送交者: 张大帅 于 2024-04-02 02:25:11

回答: 华为的自对齐七重曝光(SASP)专利 由 于 2024-03-28 21:44:11

因此金属间距可以达到21纳米以下,就是说达到了3nm的水平。

阅读次数:58

所有跟贴:

加跟贴

笔名: 密码: 注册笔名请按这里
标题:   分类主题名:

内容(可选项):

URL(可选项):
URL标题(可选项):
图像(可选项): 图片上传工具



所有跟贴·加跟贴·ɢɹ
Copyright © 2000 - 2020 webjb.org