一般用金属间距的一半作为最小分辨率
散仙谷 http://www.webjb.org/webjb/sanxian/
送交者: 张大帅 于 2024-04-02 02:25:11
回答:
华为的自对齐七重曝光（SASP）专利
由 于 2024-03-28 21:44:11
因此金属间距可以达到21纳米以下，就是说达到了3nm的水平。
阅读次数：107
所有跟贴:
加跟贴
笔名:
密码:
注册笔名请按这里
标题:
分类主题名:
无
内容(可选项):
URL(可选项):
URL标题(可选项):
图像(可选项):
图片上传工具
所有跟贴
·
加跟贴
·
ɢɹ
Copyright © 2000 - 2020
webjb.org