一般用金属间距的一半作为最小分辨率
散仙谷 http://www.webjb.org/webjb/sanxian/
送交者: 张大帅 于 2024-04-02 02:25:11
回答:
华为的自对齐七重曝光（SASP）专利
由 于 2024-03-28 21:44:11
因此金属间距可以达到21纳米以下，就是说达到了3nm的水平。
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