我看到更内部点的介绍，不是七重曝光。


散仙谷 http://www.webjb.org/webjb/sanxian/


送交者: 二麻子 于 2024-03-28 22:57:07

回答: 华为的自对齐七重曝光（SASP）专利 由 于 2024-03-28 21:44:11


7X是七倍精度工艺。每次曝光都会有不合格部分，七次会极大降低成品率，据说，一般做到四次就极限了。

七倍精度怎么达成的，太技术了，没讲。

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