清华在雄安准备建设SSMB-EUV光源工厂


散仙谷 http://www.webjb.org/webjb/sanxian/


送交者: testtesttest 于 2023-09-17 08:49:13

回答: 好！中国拒交国际原子能机构会费。 由 于 2023-09-17 03:18:27


清华大学在雄安区准备建设的这个项目，就是提供了一个SSMB-EUV光源
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谁说“光刻机”非得长那样？
昨天翻到了一篇论文，名字叫做《稳态微聚束加速器光源》。

论文中讲的——稳态微聚束 ( steady-state micro-bunching），简称 " SSMB"，用它造的光刻机，就叫 "SSMB-EUV" 光刻机。

http://app.myzaker.com/news/article.php?pk=65023d168e9f09550f00a99e

https://baijiahao.baidu.com/s?id=1777193289215624575
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