绕道EUV,我国首台纳米压印光刻设备交付
散仙谷 http://www.webjb.org/webjb/sanxian/
送交者: testtesttest 于 2025-08-12 23:22:56
回答: 高剩一个二鬼子雇员测试了宇树的机器人 由 于 2025-08-12 22:03:14
打破垄断!我国首台纳米压印光刻设备交付,芯片制造迎来新突破
2025-08-09 02:08
8月1号,杭州璞璘科技自己研发的第一台半导体级别的纳米压印光刻机PL-SR正式交到国内客户手上。
这玩意儿能搞定线宽小于10nm的压印工艺,直接打破了日本佳能在这块领域的技术垄断。
更关键的是,它为咱们中国芯片制造开辟了一条“非EUV”的突破路线,在EUV光刻机被封锁的情况下,给国产半导体行业注入了新的盼头。
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