最近传言华为正在调试EUV产线，


散仙谷 http://www.webjb.org/webjb/sanxian/


送交者: 吴戈 于 2025-06-23 22:42:50

其实此种说法二三月间就开始了。要点是用了LDP而不是LPP，
功率仍弱于ASML的EUV，但由于使用更高的技术加工出的镜面，
最终的实用功率仍然很高。

俺希望是真的，但仍存疑。迄今为止都是据说，reportedly，
唯一的证据图是那张“EUV光刻物镜装调干涉仪”。
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