还是DUV多重曝光，开始的时候小道消息说只有20％


散仙谷 http://www.webjb.org/webjb/sanxian/


送交者: 吴戈 于 2025-06-19 20:38:07

回答: 哇靠，5纳米以下线调通了，良率直接超70%！ 由 于 2025-06-19 20:08:04

俺看到有人说，这种技术的物理极限就是5nm。
EUV可以做到2nm，再往下隧穿就不能忽视了。
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