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2023吉林科学技术奖提名。很多都与EUV光刻机有关

送交者: testtesttest 于 2023-09-14 04:46:07

回答: 没有官宣？中国举行史上最大规模航母演习！由于 2023-09-14 03:04:34

9-9-2023
消息来源2023年度吉林省科学技术奖提名项目【公示】

*EUV整体技术突破
*极紫外光刻光学技术
*吉林省科技进步一等奖中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
*EUV物镜相关技术
*复杂曲面光学元件高精度磁流变抛光技术
*吉林省科技进步二等奖中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
*EUV光刻机多层膜光学元件表面污染防控及无损清洗关键技术
*吉林省科技进步二等奖中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
*超高精度光刻机投影物镜系统波像差检测技术
*吉林省技术发明二等奖中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

https://m.weibo.cn/status/4944112027701058

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